Mikroelektronik temiz odası, mikroelektronik endüstrisinde ürün kalitesini ve verimliliğini sağlamak için özel bir üretim ortamıdır. Bu proje için hava temizleme, sıcaklık, nem, elektrostatik ve gürültü kontrolü gibi birçok faktör dikkate alınmaktadır.
Mikroelektronik temiz oda uygulama endüstrilerinin farklı sınıfları:
1.Entegre devre imalatı
- ISO 1 - 3: genellikle küçük parçacıkların son derece yüksek düzeyde kontrolünü gerektiren en gelişmiş foto dağlama, dağlama ve diğer işlemlerde kullanılır ve hafif bir kirlenme talaş kusurlarına yol açabilir.
- ISO 4 - 5: İnce film biriktirme, iyon implantasyonu ve çip üretimindeki diğer işlemler için uygundur ve ayrıca katı parçacık kontrolü gereksinimlerine sahiptir.
2.Yarı iletken kapsülleme testi
- ISO 6 - 7: Çip paketleme, fonksiyonel test vb. gibi çoğu paketleme testi bağlantısının gereksinimlerini karşılayabilir.
3. Panel ekran imalatı
- ISO 5 - 6: LCD panel imalatında kaplama ve pozlamada kullanılır.
4. Elektronik bileşen imalatı
- ISO 7 - 8: dirençler, kapasitörler vb. gibi nispeten düşük çevresel gereksinimlere sahip elektronik bileşenlerin üretiminde kullanılır.
Kısacası temiz odanın sınıfı ne kadar yüksek olursa, havada asılı duran partiküllerin sayısı o kadar az kontrol edilebilir, ortam o kadar saf olur ve son derece sıkı üretim ortamları gerektiren mikroelektronik üretim süreçlerine o kadar uygundur. Ancak alt sınıf temiz oda, nispeten gevşek ortam gerektiren üretim süreçleri için uygundur.
Mikroelektronik temiz odanın hava temizleme sisteminin ana cihazları:
1.Hava filtresi
- Birincil verimli filtre: esas olarak havanın temizlenmesinde ön rol oynamak üzere toz, saç vb. gibi daha büyük parçacıkları filtrelemek için kullanılır.
- Orta verimli filtreler: orta büyüklükteki partikül kirleticileri filtreler ve hava temizliğini daha da artırır.
- HEPA filtre: 0,3 mikronun üzerindeki parçacıklar için yüksek filtreleme verimliliğine sahip olan, yüksek temizlik elde etmenin temel cihazı
- Ultra yüksek verimli filtre (ULPA filtre): 0.1 - 0.3 mikron parçacıklar için filtreleme verimliliği %99,999'un üzerinde olabilir ve genellikle son derece yüksek temizlik gereksinimleri olan yerlerde kullanılır.
2. Fan
- Hava akışını yönlendirmekten, havanın filtreden geçmesini ve temiz odada dolaşmasını sağlamaktan sorumludur.
3.Kanal
-Havanın temiz odanın tüm alanlarına eşit dağılımını sağlamak için filtrelenmiş havayı iletmek için kullanılır.
4. Taze hava santrali
- Dışarıya temiz hava verin, filtreleyin ve sıcaklığı ve nemi temiz odanın ihtiyaçlarını karşılayacak şekilde ayarlayın.
5. Hava temizleme ünitesi
-Filtreleme, sterilizasyon, nem alma, nemlendirme vb. gibi çeşitli saflaştırma ve iklimlendirme işlevlerini entegre edin.
6. Statik basınç odası
-Hava akışını stabilize eder, hava akışının türbülansını ve gürültüsünü azaltır ve filtrelerden eşit hava akışı sağlar.
7. Susturucu
- Fanların ve hava akışının oluşturduğu gürültüyü azaltarak sessiz bir çalışma ortamı sağlayın
8. Fark basınç sensörleri ve kontrolörleri
- Kirletici maddelerin çapraz kontaminasyonunu önlemek amacıyla havanın önceden belirlenmiş bir yönde akmasını sağlamak için temiz odanın farklı alanları arasındaki basınç farkını izleyin.
Bu cihazlar, mikroelektronik temiz odanın hava kalitesinin gerekli temizlik sınıfına ulaşmasını sağlamak için birlikte çalışır.
Mikroelektronik temiz oda mühendisliğinin temel adımları ve teknik noktaları:
1. Tasarım planlaması: Üretim süreci ve gereksinimlerine göre temiz oda sınıfını, alanını, düzenini vb. belirleyin. Aynı zamanda personelin, malzemelerin ve ekipmanın akış rotasının yanı sıra hava temizleme, iklimlendirme tasarımı da belirlenir. ve aydınlatma sistemleri dikkate alınmalıdır.
2.Bina yapısı: Dış ortamın iç kısım üzerindeki etkisini azaltmak için iyi bir sızdırmazlık ve ısı yalıtım performansına sahip olmalıdır. Aynı zamanda paslanmaz çelik ve alüminyum alaşımı gibi toz ve statik elektrik üretmesi kolay olmayan malzemelerin kullanılması gerekmektedir.
3. Hava temizleme sistemi: Mikroelektronik temiz oda mühendisliğinin temel bir parçasıdır. Genellikle yüksek verimli filtreler, fanlar, hava kanalları ve diğer cihazlar, iç havadaki toz, bakteri, virüs ve diğer kirleticileri uzaklaştırmak, böylece havanın belirli bir temizlik seviyesine ulaşmasını sağlamak için kullanılır.
4. İklimlendirme sistemi: Üretim prosesinin gereksinimlerini karşılayacak şekilde iç ortam sıcaklığını, nemini ve basınç farkını kontrol edebilmelidir. Aynı zamanda işletme maliyetlerinin düşürülmesi için enerji tasarruflu ve çevre dostu iklimlendirme ekipmanları ve teknolojisine geçilmelidir.
5. Elektrostatik kontrol: Mikroelektronik üretim süreci, ürün kalitesini etkileyecek statik elektrik üretme eğilimindedir. Bu nedenle statik gidericilerin kullanılması, antistatik zeminlerin döşenmesi vb. gibi statik eleme önlemlerinin alınması gerekir.
6. Gürültü kontrolü: Gürültü, iş verimliliğini ve personelin sağlığını etkileyeceğinden, ses yalıtım malzemelerinin kullanılması, susturucu takılması vb. gibi gürültü kontrolü önlemlerinin alınması gerekir.
7. Aydınlatma sistemi: Üretim sürecinin gerekliliklerini karşılayacak yeterli parlaklık ve bütünlüğü sağlayabilmelidir. Aynı zamanda işletme maliyetlerini azaltacak enerji tasarruflu ve çevre dostu aydınlatma ekipmanları ve teknolojilerine geçilmelidir.
8. Personel ve malzeme yönetimi: Dış kirleticilerin girişini azaltmak için personelin ve malzemelerin giriş ve çıkışı sıkı bir şekilde yönetilecek ve kontrol edilecektir. Aynı zamanda personelin temizlik bilincinin ve operasyonel becerilerinin geliştirilmesi için eğitilmesi gerekmektedir.
9. Test ve doğrulama: Temiz oda inşa edildikten sonra, temiz odanın performansının hava temizliği, sıcaklık, nem, basınç farkı, statik elektrik vb. dahil olmak üzere tasarım gerekliliklerini karşıladığından emin olmak için test ve doğrulama yapılmalıdır.
Sonuç olarak mikroelektronik temiz oda mühendisliği, birden fazla faktör gerektiren karmaşık bir sistemdir. Yalnızca ileri teknoloji ve ekipmanın benimsenmesiyle gereksinimleri karşılayan bir temiz oda inşa edilebilir.
Popüler Etiketler: mikroelektronik temiz oda, Çin mikroelektronik temiz oda tedarikçileri, üreticiler, fabrika, Temiz Oda Tavanları, Temiz Oda Verimli Çevre, Temiz Oda Aydınlatma, Temiz Oda Robotik Çevre, Temiz Oda Ölçeklenebilir Üretim, Temiz Oda Depolama
